MEMS significa sistema microelectromecánico y se aplica a cualquier sensor fabricado mediante técnicas de fabricación microelectrónica. Estas técnicas crean estructuras de detección mecánica de tamaño microscópico, típicamente en silicio. Cuando se combinan con circuitos microelectrónicos, los sensores MEMS se pueden usar para medir parámetros físicos como la aceleración. A diferencia de los sensores ICP, los sensores MEMS miden frecuencias de hasta 0 Hz (aceleración estática o CC).

Los acelerómetros MEMS capacitivos variables (VC) son dispositivos de rango más bajo y alta sensibilidad que se usan para monitoreo estructural y mediciones de aceleración constante.

Cuenta con un elemento sensor capacitivo MEMS de silicio que está unido anódicamente a una tapa y una base para formar una placa paralela, un par de condensadores diferenciales. Los acelerómetros cuentan con respuesta de CC, amortiguación de gas para una buena cobertura de frecuencia y construcción resistente. La electrónica integral con excitación de CC proporciona una señal de salida de alto nivel y baja impedancia que es estable.

Características destacadas: Diseñado para medición de aceleraciones de baja amplitud con precisión. Medición desde DC 0 Hz. Esquemas simples de excitación de potencia CC. Los elementos sensores MEMS de silicio amortiguados por gas ofrecen protección contra sobrecargas de alta frecuencia

Aplicaciones: monitoreo estructural, pruebas de vibración aeroespacial, capacidad de conducción, mediciones de fuerza gravitacional, monitoreo de trayectoria, análisis modal, pruebas de aleteo, mediciones de dinámica de vehículos para suspensiones automotrices y calidad de conducción.